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基于激光多普勒测振的微纳结构模态测量技术

丁明昊  宋云峰  陈汝霞  刘红魏  
【摘要】：结合模态分析理论与激光多普勒测振技术开发出可自行扫描的模态测量技术。利用激光多普勒测振非接触、测量精度高、测试频率范围大的特点,结合微纳位移台对工件进行扫描,使用压电元件对圆形薄片工件进行激励。利用开发的模态分析软件控制位移台移动元件实现工件上的测点扫描,根据采集数据,计算每个测量点的频响函数后,合成振形动画与ODS模型。利用Fmac值验证上述模型是可信的。不同振形之间的解耦正常,证明了上述测量结果的正确性。

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